SFC5500/SFM5500 Mga Mass Flow Controller/Meter

Ang Sensirion SFC5500/SFM5500 Mass Flow Controller/Meter ay mga digital multi-gas na CMOSens®-based na device na sumusukat sa gas mass flow sa pamamagitan ng calorimetric principle batay sa heat transfer. Ang mga controller/meter ay nakakamit ng walang kapares na mga rating para sa bilis, katumpakan, at repeatability sa isang talagang kaakit-akit na halaga ng system. Ang isang elemento ng pampainit sa isang thermally insulated na lamad at dalawang thermopile na matatagpuan sa itaas at sa ibaba ng agos ay isinama sa isang solong silicon chip. Sa pagkakaroon ng daloy ng gas, ang pamamahagi ng temperatura pataas at pababa ay nabalisa. Pagkatapos ay sinusukat ang asymmetry na ito. Ang mas malaking disenyo ng channel ay ginagawang mas matatag ang device laban sa mga particle, pagbabara, at humidified na gas. Dahil sa compact na single-chip na idinisenyo at pag-mount sa pagitan ng mga bahaging metal, ang mga sensor na nakabatay sa CMOSens®ay masyadong lumalaban sa mga electromagnetic disturbances (EMC).